מהם היישומים של מיקרוסקופיה קונפוקלית בלייזר בתחום ייצור החומר
בתחום ייצור החומר, כאשר יש צורך לנתח את החספוס של חומרי/רכיבי מתכת, בין אם זה באמצעות מיקרוסקופ כוח אטומי או בודק צעדים, אין דרך לקחת בחשבון את הרזולוציה, אזור הסריקה ומהירות הסריקה. באותו הזמן. מיקרוסקופ הלייזר הקונפוקאלי המבוסס על טכנולוגיית מדידה מיקרוסקופית קונפוקלית בלייזר מצויד במצלמה בצבע אמיתי ומספק תמונה תלת מימדית משוחזרת בצבע אמיתי, מציגה פרטים בכל פרט ופרט, ויכולה לספק תמונות צבעוניות צבעוניות לצפייה קלה. וזה יכול לעמוד בדרישת מהירות המדידה תוך הבטחת הרזולוציה.
1. סריקה ללא מגע, קלה לתפעול, והדגימה ניתנת לסריקה מידית.
יישום: אטם
מהירות מדידת סריקה ללא מגע עם מיקרוסקופ לייזר קונפוקאלי מהירה פי מאות מונים מאשר מדידת מגע. ניתן למדוד מבנים תלת מימדיים בטווח התת-מיקרון בדיוק גבוה יותר, וניתן למדוד את הביצועים של כל איטום פני הלוח תוך זמן קצר, כמו גם נקודות נתונים שונות הקשורות להרכב פני השטח.
2. יש לו את הפונקציות של גודל קווי מתאר ומדידת חספוס כדי לאפיין את הצורה המיקרוסקופית, וחמש פונקציות ניתוח כגון ניתוח חספוס, ניתוח קווי מתאר גיאומטרי, ניתוח מבנה, ניתוח תדרים וניתוח פונקציות.
יישום: גיליון מתכת
בנוסף לקריטריונים להערכת חספוס, מיקרוסקופיה קונפוקלית יכולה גם לחשב ולהעריך מיקרונפחים של אזורים סגורים על פני השטח, המתאימים להערכת מבנים תלת מימדיים פונקציונליים חשובים אלה. בשילוב עם פונקציות המדידה האוטומטיות ומדידת האצווה הניתנות במדידה, ניתן לממש מדידת אצווה של התקני דיוק בגודל קטן והפונקציה של השגת נתוני ניתוח ישירות.
יישום: טריבולוגיה, קורוזיה והנדסת משטח אחרת
מדידות נפח של צלקות בלאי, מדידות חספוס, טופוגרפיה פני השטח, קורוזיה וטופוגרפיה פני השטח לאחר הנדסת משטח תת-מיקרון.
יישום: מוליכים למחצה / LCD
תהליכים שונים (פיתוח, תחריט, מתכת, CVD, PVD,
3. עם פונקציית תפירה אוטומטית, זה יכול לממש במהירות את מדידת התפירה והתפירה של אזורים גדולים.
על ידי דגימת אזורים מרובים על פני הדגימה לצורך מדידה, ניתן לממש במהירות מדידות בשטח גדול ובדיוק גבוה, ובכך להעריך ולנתח את המדגם.
