ההבדלים בין מיקרוסקופיה קונפוקלית בלייזר למיקרוסקופיה אלקטרונית סורקת הם כדלקמן
שניהםמיקרופון קונפוקאלי לייזררוסקופים ו-SEMs הם הדמיית סריקה נקודתית, נקודתית, שבה ההגדלה מותאמת על ידי שליטה בטווח כונן הסריקה. מיקרוסקופ קונפוקאלי לייזר פועל באמצעות סריקה בלייזר לקבלת תמונות תלת מימדיות. מיקרוסקופ אלקטרוני סורק הוא שימוש באלומת אלקטרונים ממוקדת עדינה במשטח המדגם סריקת עירור של מגוון אותות פיזיקליים כדי לווסת את ההדמיה, יכול לקבל רק תמונות דו מימדיות, לא יכול לקבל תמונות תלת מימדיות.
1, רזולוציית מגבלה שונה (הגברה של מקורות אות שונים)
קונפוקאלי לייזר: רזולוציה אולטימטיבית של 150 ננומטר
מיקרוסקופ אלקטרוני סורק: 20nm ~ 0.8nm
2, מצב כונן סריקה שונה
לייזר קונפוקאלי: מראה מסתובבת בלייזר לשליטה בטווח סריקת הלייזר ובמהירות הסריקה
מיקרוסקופ אלקטרוני סורק: בקרת סליל אלקטרומגנטי בטווח סריקת אלומת אלקטרונים ומהירות הסריקה
3, הדמיית סטריאו שונה
לייזר קונפוקאלי: המדגם מונע על ידי מנוע צעד ננו דיוק בכיוון ציר Z שכבה אחר שכבה הדמיה, התוכנה תגדיר את התמונה של כל שכבה כדי לסנתז תמונת סטריאו תלת מימדית ברורה.
מיקרוסקופ אלקטרוני סורק: תמונה חד-ממדית עם עומק שדה גדול, השייכת לתמונה הדו-ממדית.
4, היקף יישום שונה
קונפוקל לייזר: כמה פעמים עד כמה אלפי פעמים
מיקרוסקופ אלקטרוני סורק: כמה פעמים ~ מאות אלפי פעמים
5, סביבות עבודה שונות
לייזר confocal: יכול לבדוק דגימות בסביבה האטמוספרית
מיקרוסקופ אלקטרוני סורק: דגימות בדיקה בסביבת ואקום גבוה.
