היישומים של מיקרוסקופים קונפוקאליים בתעשיית המוליכים למחצה
בתהליך של ייצור מוליכים למחצה בקנה מידה גדול, יש צורך להפקיד שבבי מעגלים משולבים על הפרוסה, לאחר מכן לחלק אותם ליחידות שונות, ולבסוף לארוז ולהלחים אותם. לכן, בקרה ומדידה מדויקת של גודל חריץ חיתוך פרוס היא חוליה מכרעת בתהליך הייצור.
המיקרוסקופ הקונפוקאלי מסדרת VT6000 הוא ציוד בדיקה מיקרוסקופי שהושק על ידי Zhongtu Instrument, בשימוש נרחב בתהליכי ייצור ואריזה של מוליכים למחצה. הוא יכול לבצע סריקה ללא-מגע ולשחזר מורפולוגיה תלת-ממדית של תכונות פני השטח עם צורות מורכבות וחריצי חיתוך לייזר תלולים.
למיקרוסקופ הקונפוקאלי מסדרת VT6000 יש רזולוציה אופטית מצוינת והוא יכול לצפות במאפיינים של משטח הפרוסות בפירוט באמצעות מערכת הדמיה ברורה, כגון התבוננות האם ישנם פגמים כגון שבירה של קצה ושריטות על פני הפרוסה. המגדל החשמלי יכול לעבור אוטומטית בין הגדלות אובייקטיביות שונות, והתוכנה לוכדת באופן אוטומטי קצוות של תכונה למדידת גודל דו-מימדית-מהירה, ובכך מזהה ובקרה יותר את האיכות של משטח הפרוסות.
בתהליך חיתוך פרוסות בלייזר, נדרש מיקום מדויק על מנת להבטיח שניתן לחתוך חריצים לאורך קו המתאר הנכון על הפרוסה. איכות פילוח הפרוסים נמדדת בדרך כלל לפי העומק והרוחב של חריצי החיתוך. למיקרוסקופ הקונפוקאלי מסדרת VT6000, המבוסס על טכנולוגיה קונפוקלית ומצויד במודולי סריקה במהירות- גבוהה, יש תוכנת ניתוח מקצועית עם ריבוי שטחים ופונקציות מדידה אוטומטיות. הוא יכול לשחזר במהירות את קו המתאר התלת-ממדי של חריץ הלייזר של הפרוסה שנבדקה ולבצע ניתוח רב פרופילים כדי לקבל מידע על עומק ורוחב הערוץ של החתך-.
