יישום של מיקרוסקופים מטאלוגרפיים על פני תעשיות
מיקרוסקופים מטאלוגרפיים מקורם במטאלוגרפיה. הם מכשירים מקצועיים המשמשים בעיקר לצפייה במבנים מטאלוגרפיים, במיוחד לבחינת המיקרו-מבנה המטאלוגרפי של עצמים אטומים כמו מתכות ומינרלים. לא ניתן לראות דגימות אטומות אלו עם מיקרוסקופי אור שידור רגילים. לכן, ההבדל העיקרי בין מיקרוסקופים מטאלוגרפיים למיקרוסקופים רגילים הוא שהראשון משתמש בתאורת אור מוחזר בעוד שהאחרון מסתמך על אור מועבר.
מיקרוסקופים מטאלוגרפיים כוללים יציבות מעולה, הדמיה חדה, רזולוציה גבוהה ושדה ראייה שטוח גדול. ניתן לבצע תצפיות לא רק דרך העינית, אלא גם כתמונות דינמיות בזמן אמת על מסך מחשב או מצלמה דיגיטלית. ניתן לערוך, לשמור ולהדפיס תמונות שצולמו. הם מיושמים באופן נרחב בחומרה, חתך מטאלוגרפי, רכיבי IC, LCD, LED ותחומים אחרים.
ישנם חמישה סוגים של עדשות אובייקטיביות עבור מיקרוסקופים מטאלוגרפיים: יעדי פלואורסצנציה בשדה בהיר של EPI, יעדי שדה בהיר/כהה של BD, יעדי מרחק עבודה סופר ארוכים של SLWD, יעדי מרחק עבודה ארוכים של ELWD מורחבים, ואובייקטים עם טבעות תיקון. בתעשיית החומרה, ניתן לבחור יעדי שדה בהיר/כהה של BD לצורך התבוננות בחלקי חומרה רפלקטיביים במיוחד. לדוגמה, בעת התבוננות ומדידה של חלקיקים מוליכים בתעשיית ה-LCD, ניתן לצייד את המיקרוסקופ המטאלוגרפי ב-DIC כדי לקבל תצוגות סטריאוסקופיות יותר. זוהי טכניקת מיקרוסקופיה של אור מקוטב באמצעות מסננים זוגיים. הוא מפנה מחדש את נתיב האור בהתאם למאפייני השבירה הדו-פעמית. שימו לב שאור מקוטב הוא בדרך כלל פונקציונלי רק בשילוב עם DIC ויש לו ערך מוגבל בשימוש לבד.
כאשר משתמשים במיקרוסקופים מטאלוגרפיים למדידה וניתוח של תכונות זעירות ברכיבי IC וחתכים מטאלוגרפיים, ניתן לאמץ את תוכנת המדידה החכמה Iview-DIMS. הוא מספק דיוק גבוה ומפחית ביעילות שגיאות מדידה ידניות. התוכנה ידידותית למשתמש ותומכת במדידה וניתוח של נקודות, קווים, קשתות, רדיוסים, קטרים, זוויות ומידות גיאומטריות אחרות. זה יכול גם ללכוד תמונות מדידה ולהפיק דוחות בדיקה מותאמים אישית.
