מהם הגורמים המשפיעים על דיוק המדידה כאשר מד עובי הציפוי מודד את עובי הסרט היבש?
1. עובי שכבת הכיסוי
אי הוודאות במדידה היא מאפיין מובנה בשיטות מדידת עובי זרם. עבור שכבות כיסוי דקות יותר (למשל פחות מ- 25 מיקרומטר), אי הוודאות של המדידה היא ערך קבוע, ללא תלות בעובי שכבת הכיסוי, וחוסר הוודאות של כל מדידה הוא לפחות 0. 5 מיקרומטר. עבור המכשיר, אי וודאות זו נעה בין 0. 5 מיקרומטר עד 1 מיקרומטר. לשכבות כיסוי עבות יותר בעובי העולה על 25 מיקרומטר, נדרש יחס מסוים של עובי. עבור מכשיר זה, אי הוודאות היא 2% מעובי שכבת הכיסוי.
עבור שכבות כיסוי בעובי של פחות או שווה ל -5 מיקרומטר, יש לקחת את ערך העובי כממוצע של מספר מדידות.
עבור שכבות כיסוי בעובי פחות מ -3 מיקרומטר, לא ניתן למדוד במדויק את ערך עובי הסרט.
2. מוליכות המתכת הבסיסית
ערך המדידה של שיטת המדידה של עובי זרם מעוות יושפע מהמוליכות של המתכת הבסיסית. המוליכות של מתכות קשורה להרכב החומרי שלהם ולטיפול בחום. השפעת המוליכות על המדידה משתנה באופן משמעותי בהתאם ליצרן ובמודל המכשיר. המדידה של מכשיר זה מושפעת באופן מינימלי מהמוליכות של המתכת הבסיסית.
3. עובי המתכת הבסיסית
לכל מכשיר ערך עובי קריטי למתכת הבסיסית, שמעבר לו הערך המדוד לא יושפע מעלייה בעובי המתכת הבסיסית. ערך עובי קריטי זה תלוי בתדר ההפעלה של מערכת בדיקת המכשירים ובמוליכות המתכת הבסיסית. ערך העובי הקריטי של מכשיר זה הוא בערך {{0}}. 3 ~ 0.4 מ"מ.
זה לא אמין לערום דגימות בעובי מתכת בסיס מתחת לרמה הקריטית עם חומרים לא מצופים באותו חומר ועובי.
4. אפקט קצה
מד העובי הזרם העגום רגיש להפסקות פני השטח של הדגימה. המדידות הקרובות מדי לקצה הדגימה אינן אמינות. אם יש צורך למדוד על מדגם שטח קטן או מדגם רצועה צרה, ניתן להשתמש בחומר לא מצופה באותה צורה כמו המצע לכייל מחדש של המכשיר. עבור מכשיר זה, כאשר אזור המדידה הוא פחות מ -150 מ"מ 2 או שרוחב הדגימה הוא פחות מ- 12 מ"מ, יש לכייל מחדש את המכשיר על החומר הלא מצופה המתאים.
5. עקמומיות
שינוי העקמומיות של הדגימה ישפיע על הערך המדוד. ככל שעקמומיות הדגימה קטנה יותר, כך גדל ההשפעה על הערך המדוד. עבור מכשיר זה, כאשר מדידת דגימות בקוטר פחות מ- 50 מ"מ, יש לכייל מחדש את המכשיר על חומרים לא מצופים באותו קוטר.
6. חספוס פני השטח
חספוס פני השטח של שכבת המתכת והכיסוי הבסיס יש השפעה על הערכים הנמדדים. נטילת הממוצע של מדידות מרובות במקומות שונים יכולה להפחית את ההשפעה הזו. אם פני המתכת הבסיסית מחוספסת, יש לכייל את נקודת האפס של המכשיר במיקומים מרובים על חומר המתכת המתאים לפני הציפוי.
