אילו יתרונות וחסרונות מגיעים לשימוש במיקרוסקופ אלקטרוני?
יתרון:
1. רזולוציה גבוהה, הרזולוציה של המיקרוסקופ האופטי היא 0.2μm, והרזולוציה של מיקרוסקופ אלקטרוני ההולכה היא 0.2nm, כלומר מיקרוסקופ אלקטרוני ההולכה מוגדל פי 1000 ב- הבסיס של המיקרוסקופ האופטי.
2. מיקרוסקופים אלקטרונים שידור משמשים לעתים קרובות כדי לצפות במבני החומר העדין שלא ניתן לפתור על ידי מיקרוסקופים רגילים; מיקרוסקופים סורקים של אלקטרונים משמשים בעיקר לצפייה במורפולוגיה של משטחים מוצקים, וניתן לשלב אותם גם עם מדדי דיפרקטומטרים של רנטגן או ספקטרומטרים של אנרגיית אלקטרונים. מהווים מיקרו-גשושי אלקטרונים לניתוח הרכב החומר; מיקרוסקופים של פליטת אלקטרונים משמשים לחקר משטחי אלקטרונים פולטים עצמיים.
חִסָרוֹן:
1. במיקרוסקופ אלקטרוני, יש לצפות בדגימות בוואקום, ולכן לא ניתן לצפות בדגימות חיות. עם התקדמות הטכנולוגיה, מיקרוסקופ האלקטרונים הסורק הסביבתי יממש בהדרגה את התצפית הישירה בדגימות חיות;
2. בעת עיבוד המדגם הוא עלול לייצר מבנה שאין לדגימה, מה שמחריף את הקושי בניתוח התמונה לאחר מכן;
3. בשל יכולת פיזור אלקטרונים חזקה, קל להתרחש עקיפה משנית;
4. מכיוון שמדובר בתמונת הקרנה דו מימדית של אובייקט תלת מימדי, לפעמים התמונה אינה ייחודית;
5. מכיוון שמיקרוסקופ אלקטרוני ההולכה יכול לצפות רק בדגימות דקות מאוד, ייתכן שמבנה פני החומר שונה מהמבנה שבתוך החומר;
6. עבור דגימות דקות במיוחד (פחות מ-100 ננומטר), תהליך הכנת הדגימה מסובך וקשה, והכנת הדגימה פגומה;
7. אלומת האלקטרונים עלולה להרוס את המדגם באמצעות התנגשות וחימום;
8. בנוסף, מחירי הרכישה והתחזוקה של מיקרוסקופים אלקטרונים גבוהים יחסית.
