ההבדל בין מיקרוסקופיה אלקטרונית למיקרוסקופיה מטאלוגרפית
עקרונות מיקרוסקופ אלקטרונים סורק
Scanning ElectronMicroscope, בקיצור SEM, היא מערכת מורכבת המעבה טכנולוגיה אופטית אלקטרונית, טכנולוגיית ואקום, מבנה מכני עדין וטכנולוגיית בקרת מחשב מודרנית. מיקרוסקופ האלקטרונים הסורק אוסף את האלקטרונים הנפלטים על ידי אקדח האלקטרונים לאלומת אלקטרונים קטנה דרך עדשה אלקטרומגנטית רב-שלבית בפעולה של האצת מתח גבוה. סריקה על פני הדגימה מעוררת מידע מגוון, ועל ידי קליטה, הגברה והצגת המידע ניתן לנתח את משטח הדגימה. האינטראקציה בין אלקטרונים תקפים לבין המדגם מייצרת את סוגי המידע המוצגים באיור 1. התפלגות העוצמה הדו-ממדית של מידע זה משתנה עם המאפיינים של משטח המדגם (מאפיינים אלה כוללים מורפולוגיה של פני השטח, הרכב, כיוון גביש, תכונות אלקטרומגנטיות, וכו'), שהיא המרה רציפה ופרופורציונלית של המידע שנאסף על ידי גלאים שונים. אות הווידאו מומר לאות וידאו ולאחר מכן נשלח לצינור תמונה סורק סינכרוני והבהירות שלו עוברת אפנון כדי לקבל תמונה סרוקה המשקפת את מצב פני השטח של הדגימה. אם האות המתקבל על ידי הגלאי מעובד דיגיטלית ומומר לאות דיגיטלי, ניתן להמשיך לעבד אותו ולאחסן אותו על ידי המחשב. מיקרוסקופיה אלקטרונית סורקת משמשת בעיקר לצפייה בדגימות עבות עם הפרשי גבהים גדולים וחוסר אחידות גס. לכן, העיצוב מדגיש את אפקט עומק השדה. הוא משמש בדרך כלל לניתוח שברים ומשטחים טבעיים שלא עברו עיבוד מלאכותי.
מיקרוסקופ אלקטרוני ומיקרוסקופ מתכות
1. מקורות אור שונים: מיקרוסקופים מטאלוגרפיים משתמשים באור הנראה כמקור האור, ומיקרוסקופים אלקטרונים סורקים משתמשים בקרני אלקטרונים כמקור האור להדמיה.
2. עקרונות שונים: מיקרוסקופים מטאלוגרפיים משתמשים בעקרונות הדמיה אופטית גיאומטרית לביצוע הדמיה, בעוד שמיקרוסקופים אלקטרונים סורקים משתמשים בקרני אלקטרונים בעלות אנרגיה גבוהה כדי להפציץ את פני הדגימה כדי לעורר אותות פיזיקליים שונים על פני הדגימה, ולאחר מכן להשתמש בגלאי אותות שונים כדי לקבל את אותות פיזיים ולהמיר אותם לתמונות. מֵידָע.
3. רזולוציות שונות: עקב הפרעות ודיפרקציה של האור, ניתן להגביל את הרזולוציה של מיקרוסקופ מטאלוגרפי ל-0 בלבד.2-0.5um. מכיוון שמיקרוסקופ האלקטרונים הסורק משתמש בקרני אלקטרונים כמקור האור, הרזולוציה שלו יכולה להגיע בין 1-3 ננומטר. לכן, תצפית הרקמה תחת המיקרוסקופ המטלוגרפי שייכת לניתוח ברמת המיקרון, בעוד שתצפית הרקמה תחת מיקרוסקופ האלקטרונים הסורק שייכת לניתוח ברמת הננו.
4. עומק שדה שונה: בדרך כלל, עומק השדה של מיקרוסקופ מטאלוגרפי הוא בין 2-3um, ולכן יש לו דרישות גבוהות במיוחד לחלקות פני השטח של הדגימה, ולכן תהליך הכנת הדגימה שלו מסובך יחסית. למיקרוסקופ האלקטרונים הסורק יש עומק שדה גדול, שדה ראייה גדול ותמונה תלת מימדית, והוא יכול לצפות ישירות במבנים העדינים של המשטחים הלא אחידים של דגימות שונות.
