בהשוואה למיקרוסקופים אופטיים מסורתיים ומיקרוסקופים אלקטרוניים, אילו גורמים מגבילים את כוח הפתרון של מיקרוסקופים של כוח אטומי?
כוח הרזולוציה של מיקרוסקופים אופטיים מסורתיים מוגבל על ידי מגבלת העקיפה של האור, ומרחק הרזולוציה המינימלי שלו הוא מחצית מאורך גל האור שלו. כוח הרזולוציה של מיקרוסקופ האלקטרונים מוגבל גם הוא על ידי מגבלת הדיפרקציה, וכוח הרזולוציה המינימלי שלו הוא מחצית מאורך הגל של האלקטרון דה ברולי, כך שמיקרוסקופ האלקטרונים יכול להשיג כוח רזולוציה גבוה יותר מהמיקרוסקופ האופטי המסורתי.
כוח הפתרון של מיקרוסקופ הכוח האטומי תלוי בעיקר ב: גודל קצה הגשושית; המקדם האלסטי של המיקרו-קנטיליבר, ככל שהמקדם האלסטי נמוך יותר, כך מיקרוסקופ הכוח האטומי רגיש יותר; היחס בין אורך שלוחה לאורכו של אור הלייזר; הרגישות של הגלאי PSD למיקום הנקודתי. עבור תמונה עם רזולוציה מסוימת, ככל שטווח הסריקה קטן יותר, כך מתקבלת טופוגרפיית פני השטח עדינה יותר.
