היתרונות של מיקרוסקופיה סורקת אלקטרונים

היתרונות של מיקרוסקופיה סורקת אלקטרונים

1. הגדלה
מכיוון שגודל מסך הפלורסנט של מיקרוסקופ האלקטרונים הסורק קבוע, השינוי בהגדלה מתממש על ידי שינוי משרעת הסריקה של קרן האלקטרונים על פני הדגימה.
אם הזרם של סליל הסריקה מצטמצם, טווח הסריקה של אלומת האלקטרונים על המדגם יקטן וההגדלה תגדל. ההתאמה נוחה מאוד, וניתן לכוון אותה ברציפות מ-20 פעמים לכ-200,000 פעמים.

2. רזולוציה
רזולוציה היא מדד הביצועים העיקרי של SEM.
הרזולוציה נקבעת על פי קוטר אלומת האלקטרונים הנכנסת וסוג אות האפנון:
ככל שקוטר אלומת האלקטרונים קטן יותר, כך הרזולוציה גבוהה יותר.
לאותות פיזיקליים שונים המשמשים להדמיה יש רזולוציות שונות.
לדוגמה, לאלקטרוני SE ו-BE יש טווחי פליטה שונים על פני הדגימה, והרזולוציות שלהם שונות. בדרך כלל, הרזולוציה של SE היא בערך 5-10 ננומטר, וזו של BE היא בערך 50-200 ננומטר.

3. עומק שדה
זה מתייחס למגוון של יכולות שעדשה יכולה להתמקד בו זמנית ולצלם בחלקים שונים של דגימה עם אי אחידות.
העדשה הסופית של מיקרוסקופ האלקטרונים הסורק מאמצת זווית צמצם קטנה ואורך מוקד ארוך, כך שניתן לקבל עומק שדה גדול, שגדול פי 100-500 מזה של מיקרוסקופ אופטי כללי ופי 10 גדול מזה זה של מיקרוסקופ אלקטרוני תמסורת.
עומק שדה גדול, חוש תלת מימדי חזק וצורה מציאותית הם המאפיינים הבולטים של SEM.
דגימות עבור SEM מחולקות לשתי קטגוריות:

1 היא דגימה עם מוליכות טובה, שבדרך כלל יכולה לשמור על צורתה המקורית וניתן לצפות בה במיקרוסקופ אלקטרונים ללא או עם מעט ניקוי;

2. דגימות לא מוליכות, או דגימות המאבדות מים, יוצאות גזים, מתכווצות ומתעוותות בוואקום, צריכות להיות מטופלות כראוי לפני שניתן לצפות בהן.