תכונות של מיקרוסקופים סריקה בדיקה
מיקרוסקופ בדיקה סורק הוא המיקרוסקופ השלישי לתצפית על מבנה החומר בקנה מידה אטומי לאחר מיקרוסקופיה של יונים בשדה ומיקרוסקופ אלקטרונים שידור ברזולוציה גבוהה. אם ניקח לדוגמה את מיקרוסקופ מנהור סריקה (STM), הרזולוציה הצדדית שלו היא 0.1~0.2nm, ורזולוציית העומק האנכית שלו היא 0.01nm. רזולוציה כזו יכולה לראות בבירור אטומים בודדים או מולקולות המופצות על פני הדגימה. במקביל, מיקרוסקופ הבדיקה הסורק יכול גם לבצע מחקר תצפית באוויר, גזים אחרים או סביבות נוזליות.
למיקרוסקופים של בדיקה סריקה יש את המאפיינים של רזולוציה אטומית, הובלה אטומית וננו-מיקרו-עיבוד. עם זאת, בשל עקרונות העבודה השונים של מיקרוסקופים סורקים שונים בפירוט, המידע על פני הדגימה המשתקף מהתוצאות המתקבלות על ידם שונה מאוד. מיקרוסקופ מנהור סריקה מודדת את מידע ההפצה של תחנות אלקטרונים על פני הדגימה, שיש לה רזולוציה ברמה אטומית אך עדיין אינה יכולה להשיג את המבנה האמיתי של הדגימה. המיקרוסקופ האטומי מזהה את מידע האינטראקציה בין אטומים, כך שניתן לקבל את מידע הסידור של ההתפלגות האטומית על פני הדגימה, כלומר, המבנה האמיתי של הדגימה. אבל מצד שני, מיקרוסקופ הכוח האטומי אינו יכול למדוד את מידע המצב האלקטרוני שניתן להשוות עם התיאוריה, כך שלשניים יש יתרונות וחסרונות משלהם.
