עיקרון העבודה והשימוש במיקרוסקופ שידור אלקטרוני
מיקרוסקופ אלקטרוני שידור (TEM), יכול לראות במיקרוסקופ האופטי לא יכול לראות פחות מ-{{0}}.2 אום של מבנה עדין, מבנים אלו נקראים מבנה תת-מיקרוסקופי או מבנה אולטרה-מיקרוסקופי. כדי לראות מבנים אלו, יש צורך לבחור באורך גל קצר יותר של מקור האור, על מנת לשפר את הרזולוציה של המיקרוסקופ. 1932 רוסקה המציאה את אלומת האלקטרונים כמקור האור של מיקרוסקופ האלקטרונים ההולכה, אורך הגל של אלומת האלקטרונים קצר בהרבה מאורך הגל של האור הנראה והאור האולטרה סגול, ואורך הגל של אלומת האלקטרונים ופליטת אלומת האלקטרונים של השורש הריבועי של המתח ביחס הפוך לזה כלומר, ככל שהמתח של אורך הגל של הקצר יותר. כרגע כוח הפתרון של TEM הוא עד 0.2 ננומטר.
עקרון העבודה של מיקרוסקופ אלקטרונים בשידור הוא קרן האלקטרונים הנפלטת על ידי אקדח האלקטרונים, בתעלת הוואקום לאורך הציר האופטי של גוף המראה דרך מראת המעבה, דרך מראת המעבה תתכנס לקרן של נקודה חדה, בהירה ואחידה, הקרנת דגימות בתא הדגימות על הדגימות; דרך הדגימות לאחר קרן האלקטרונים הנושאת דגימות עם מידע מבני פנימי, דגימות בצפיפות דרך כמות האלקטרונים קטנה, כמות האלקטרונים המועברת דרך הדלילות במקום יותר אלקטרונים; לאחר ההתכנסות של מיקוד העדשה האובייקטיבית ואחרי מיקוד התכנסות העדשה האובייקטיבית והגדלה ראשונית, אלומת האלקטרונים למפלס התחתון של עדשת הביניים ומראת ההקרנה הראשונה והשנייה להדמיית הגדלה משולבת, ובסופו של דבר התמונה האלקטרונית המוגדלת המוקרנת על חדר התצפית של לוח המסך הפלורסנט; מסך פלורסנט יומר לתמונה גלויה של התמונה האלקטרונית כדי שהמשתמש יוכל לצפות בה. בחלק זה מתוארים המבנים והעקרונות העיקריים של כל מערכת.
ניתן לחלק את עקרון ההדמיה של מיקרוסקופ אלקטרונים שידור לשלושה מקרים:
1. ספיגה כמו: כאשר האלקטרון נורה למסה, צפיפות המדגם, ההשפעה העיקרית של יצירת הפאזה היא אפקט הפיזור. מדגם על עובי המסה של המקום על זווית הפיזור של האלקטרון הוא גדול, דרך האלקטרון הוא פחות, כמו הבהירות של כהה יותר. מיקרוסקופים אלקטרונים שידור מוקדמים התבססו על עיקרון זה.
2. תמונת עקיפה: לאחר עקירת קרן האלקטרונים על ידי הדגימה, התפלגות המשרעת של גל העקיפה במיקומים שונים של הדגימה מתאימה ליכולת העקיפה השונה של כל חלק של הגביש בדגימה. כאשר יש פגם גביש, יכולת העקיפה של החלק הפגום שונה מזו של האזור השלם, ובכך הופכת את התפלגות המשרעת של גל העקיפה ללא אחידה ומשקפת את חלוקת פגם הגביש.
3. תמונת פאזה: כאשר הדגימה דקה עד 100Å או פחות, האלקטרונים יכולים לעבור דרך המדגם, וניתן להזניח את שינוי המשרעת של הגל, וההדמיה מגיעה משינוי הפאזה.
