מיקרוסקופיה אלקטרונית סורקת ומיקרוסקופיה מטאלוגרפית "הולכות יחד אך בדרכים שונות"
מיקרוסקופים אלקטרונים סריקים ומיקרוסקופים מטאלוגרפיים הם שניהם מכשירים אופטיים. אנשים רבים אוהבים להשתמש במיקרוסקופ מטאלוגרפי כמיקרוסקופ אלקטרוני סורק, אך יש ביניהם הבדלים גדולים. שימוש שגוי רק יכביד יותר על הציוד ויאיץ את צריכת המיקרוסקופ המטאלוגרפי.
1. קודם כל, העקרונות שונים: המיקרוסקופ המטאלוגרפי משתמש בעיקרון של הדמיה אופטית גיאומטרית לביצוע הדמיה, בעוד שמיקרוסקופ האלקטרונים הסורק משתמש באותות פיזיקליים שונים הנרגשים על ידי קרני אלקטרונים ממוקדות עדינות בעת סריקת פני הדגימה כדי לווסת הדמיה. פני השטח של הדגימה מופגזים בקרני אלקטרונים בעלות אנרגיה גבוהה, ואותות פיזיקליים שונים מתרגשים על פני הדגימה. גלאי אותות שונים משמשים כדי לקבל את האותות הפיזיים ולאחר מכן להמיר אותם למידע תמונה.
2. שנית, מקורות האור שונים: המיקרוסקופ המטאלוגרפי משתמש באור הנראה כמקור האור להדמיה, בעוד שמיקרוסקופ האלקטרונים הסורק משתמש בקרני אלקטרונים כמקור האור להדמיה.
3. רזולוציות שונות: מיקרוסקופים מתכתיים נתונים להפרעות ודיפרקציה של אור נראה, והרזולוציה יכולה להיות מוגבלת רק ל-0.2-0.5um. מכיוון שמיקרוסקופ האלקטרונים הסורק משתמש בקרני אלקטרונים כמקור האור, הרזולוציה שלו יכולה להגיע בין 1-3 ננומטר. לכן, תצפית הרקמה תחת המיקרוסקופ המטאלוגרפי היא ניתוח ברמת המיקרון, בעוד שהתצפית במיקרוסקופ האלקטרוני הסורק היא ניתוח ברמת ננו. מידע המדגם המתקבל על ידי מיקרוסקופ האלקטרונים הסורק עשיר יותר. .
4. עומקי שדה שונים: בדרך כלל, עומק השדה של מיקרוסקופ מטאלוגרפי הוא בין 2-3אממ, ולכן יש לו דרישות גבוהות במיוחד לחלקות פני השטח של הדגימה, ולכן תהליך הכנת הדגימה מסובך יחסית. עומק השדה של מיקרוסקופ אלקטרוני סורק הוא פי מאות מזה של מיקרוסקופ מטאלוגרפי. עם זאת, בשל מגבלות עקרון ההדמיה שלו, משטח הדגימה חייב להיות מוליך, ולכן משטח הדגימה חייב להיות מוליך.
בהשוואה למיקרוסקופים מטאלוגרפיים, למיקרוסקופים סורקים אלקטרונים יש טווח הגדלה רחב מתכוונן, רזולוציית תמונה גבוהה, עומק שדה גדול, תמונות תלת מימדיות עשירות ויכולים לקבל מידע מדגמי עשיר יותר. היישומים שלהם עמוקים ונרחבים יותר ממיקרוסקופים מטאלוגרפיים.
