עקרונות הרכב מיקרוסקופ אלקטרוני
מיקרוסקופ האלקטרונים מורכב משלושה חלקים: קנה המראה, מערכת הוואקום וארון החשמל. לקנה העדשה יש בעיקר אקדח אלקטרונים, עדשת אלקטרונים, מחזיק לדוגמא, מסך פלורסנט ומנגנון מצלמה ורכיבים נוספים, רכיבים אלו מורכבים לרוב מלמעלה למטה לעמוד; מערכת ואקום מורכבת ממשאבת ואקום מכנית, משאבת דיפוזיה ושסתום ואקום, ודרך צינור השאיבה המחובר לחבית העדשה; ארון אספקת החשמל מורכב מגנרטור מתח גבוה, ווסת זרם עירור ומגוון יחידות בקרה רגולטוריות.
עדשת אלקטרונים היא החלק החשוב ביותר בחבית מיקרוסקופ אלקטרונים, היא סימטרית לציר הקנה של השדה החשמלי של החלל או השדה המגנטי כך שהאלקטרון עובר לציר היווצרות המיקוד של תפקיד הזכוכית עדשה קמורה כדי להפוך את תפקיד קרן האור למיקוד דומה לתפקיד הזכוכית, אז זה נקרא עדשת אלקטרונים. רוב מיקרוסקופי האלקטרונים המודרניים משתמשים בעדשות אלקטרומגנטיות, על ידי זרם עירור DC יציב מאוד דרך הסליל עם נעל קוטב שנוצרת על ידי השדה המגנטי החזק כדי למקד את האלקטרונים.
אקדח האלקטרונים הוא רכיב המורכב מקתודה חמה טונגסטן, שער וקתודה. הוא פולט ויוצר אלומת אלקטרונים עם מהירות אחידה, ולכן יציבות המתח המאיץ נדרשת להיות לא פחות מחלק אחד לעשרת אלפים.
ניתן לחלק את מיקרוסקופי האלקטרונים למיקרוסקופי אלקטרונים תמסורת, מיקרוסקופים אלקטרונים סורקים, מיקרוסקופי אלקטרונים השתקפות ומיקרוסקופי אלקטרונים פליטה לפי המבנה והשימוש בהם. מיקרוסקופ אלקטרונים שידור משמש לעתים קרובות כדי לצפות באלה עם מיקרוסקופים רגילים אינם יכולים להבחין במבנה העדין של החומר; מיקרוסקופ אלקטרוני סורק משמש בעיקר כדי לצפות במורפולוגיה של משטחים מוצקים, אבל גם עם דיפרקטומטר רנטגן או ספקטרומטר אלקטרונים בשילוב כדי להוות את מיקרו האלקטרונים שנוצר על ידי דגימת האטומים לפיזור קרן האלקטרונים. בחלקים דקים יותר או פחות צפופים של הדגימה יש פחות פיזור של אלומת האלקטרונים, כך שיותר אלקטרונים עוברים דרך פס האור של עדשת האובייקטיב ומשתתפים בהדמיה, ונראים בהירים יותר בתמונה. לעומת זאת, חלקים עבים או צפופים יותר של המדגם נראים כהים יותר בתמונה. אם הדגימה עבה או צפופה מדי, הניגודיות של התמונה מתדרדרת ואף יכולה להינזק או להיהרס על ידי קליטת אנרגיה מקרן האלקטרונים.
שימושים במיקרוסקופים אלקטרונים
ניתן לחלק את מיקרוסקופי האלקטרונים למיקרוסקופי אלקטרונים תמסורת, מיקרוסקופים אלקטרונים סורקים, מיקרוסקופי אלקטרונים השתקפות ומיקרוסקופי אלקטרונים פליטה לפי המבנה והשימוש בהם. מיקרוסקופ אלקטרונים שידור משמש לעתים קרובות כדי לצפות באלה עם מיקרוסקופים רגילים אינם יכולים להבחין במבנה העדין של החומר; מיקרוסקופ אלקטרוני סורק משמש בעיקר כדי להתבונן במורפולוגיה של פני השטח המוצקים, אך גם עם דיפרקטומטר רנטגן או ספקטרומטר אלקטרונים בשילוב ליצירת מיקרו-גשושית האלקטרונים, המשמשת לניתוח הרכב החומר; מיקרוסקופ אלקטרונים פליטת לחקר פני השטח של פליטה עצמית של אלקטרונים.
