הצגת מיקרוסקופ כוח אטומי אוטומטי כמו שלא היה מעולם
מערכת מיקרוסקופ הכוח האטומי האוטומטי NX-3DM, שהשיקה Park Systems, תוכננה במיוחד עבור קונטור מתאר, הדמיה של דופן צד ברזולוציה גבוהה ומדידות זווית קריטית. עם מערכת הסריקה הייחודית של ציר XY וציר Z וסורק ציר Z עם הטיה, NX-3DM מתגבר בהצלחה על האתגרים שמציבים ראשים רגילים ומתרחבים בניתוח דופן צד מדויק. במצב True Non-Contact™, ה-NX-3DM מאפשר מדידה לא הרסנית של פוטוסיסטים רכים עם קצות יחס רוחב-גובה גבוה.
דיוק חסר תקדים
ככל שמוליכים למחצה הולכים וקטנים, העיצובים צריכים כעת להיות בקנה מידה ננו, אך כלי מדידה מסורתיים אינם יכולים לספק את הדיוק הנדרש לתכנון וייצור בקנה מידה ננו. מול אתגר המדידה בתעשייה הזה, Park AFM עשתה פריצות דרך טכנולוגיות רבות, כגון ביטול דיבור הצלב, שיכול להשיג הדמיה נטולת חפצים ולא הרסנית; ה-3D AFM החדש מאפשר הדמיה ברזולוציה גבוהה של תכונות דופן ותחתית.
תפוקה חסרת תקדים
בשל המגבלה של תפוקה נמוכה, לא ניתן להשתמש בתכנון ננומטרי בבקרת איכות הייצור, אך מיקרוסקופ כוח אטומי מאפשר זאת. עם פתרון התפוקה הגבוהה שפורסמה על ידי Park Systems, מיקרוסקופיה של כוח אטומי נכנסה גם לתחום הייצור המקוון האוטומטי. זה כולל תכונת החלפת בדיקה מגנטית חדשנית עם אחוזי הצלחה של 99 אחוז, גבוה מטכנולוגיית ואקום קונבנציונלית. בנוסף, אופטימיזציה של תהליכים ותפוקה מחייבת שיתוף פעולה פעיל של הלקוחות כדי לספק נתונים גולמיים מלאים.
עלות-תועלת חסרת תקדים
יש לשלב את הדיוק והתפוקה הגבוהה של מדידות בקנה מידה ננו עם פתרונות חסכוניים כדי להרחיב ממחקר ליישומי ייצור בעולם האמיתי. מול אתגר העלות הזה, Park Systems הביאה פתרון מיקרוסקופ כוח אטומי ברמה תעשייתית כדי להפוך מדידות אוטומטיות למהירות ויעילות יותר, ולהפוך בדיקות לעמידות יותר! ויתרנו על מיקרוסקופ האלקטרונים הסורק האיטי והיקר ועברנו למיקרוסקופ הכוח האטומי התלת מימדי היעיל, האוטומטי ובמחיר סביר כדי להוזיל עוד יותר את עלות המדידה של ייצור תעשייתי מקוון. כיום, יצרנים זקוקים למידע תלת מימדי כדי לאפיין פרופילי תעלה וריאציות של דופנות כדי לאתר במדויק פגמים בעיצובים חדשים. פלטפורמת ה-AFM המודולרית מאפשרת החלפה מהירה של חומרה ותוכנה, מה שהופך את השדרוגים לחסכוניים יותר ומבצע אופטימיזציה מתמדת של מדידות בקרת איכות ייצור מורכבות ותובעניות. בנוסף, בדיקות AFM שלנו נמשכות לפחות פי 2 יותר, מה שמפחית עוד יותר את עלות הבעלות. AFMs מסורתיים משתמשים בסריקת הקשה, מה שהופך את הקצה נוטה יותר לבלאי, אך מצב True Non-Contact™ שלנו יכול להגן ביעילות על הקצה ולהאריך את חייו.
