ההבדל בין מיקרוסקופיה קונפוקלית למיקרוסקופיה פלואורסצנטית
מיקרוסקופ פלורסנט משמש בעיקר בתחום הביולוגי ובמחקר רפואי, אשר יכול לקבל תמונות פלואורסצנטיות של המיקרומבנה הפנימי של תאים או רקמות, לצפות באותות פיזיולוגיים כגון Ca2 plus, ערך PH, פוטנציאל ממברנה ושינויים במורפולוגיה של התא ברמה התת-תאית, וכן הוא דור חדש של כלי מחקר רבי עוצמה במורפולוגיה, ביולוגיה מולקולרית, מדעי המוח, פרמקולוגיה, גנטיקה ותחומים נוספים
המיקרוסקופיה הקונפוקלית המבוססת על עקרון הטכנולוגיה הקונפוקלית היא מכשיר בדיקה המשמש למדידת פני השטח של מכשירים וחומרים מדויקים שונים ברמת המיקרו והננו.
מטרת מדעי החומרים היא לחקור את השפעת מבנה פני החומר על תכונות פני השטח שלו. לכן, ניתוח ברזולוציה גבוהה של מורפולוגיה של פני השטח הוא בעל משמעות רבה לקביעת פרמטרים רלוונטיים כגון חספוס פני השטח, תכונות רפלקטיביות, תכונות טריבולוגיות ואיכות פני השטח. טכנולוגיה Confocal יכולה למדוד חומרים שונים בעלי מאפייני השתקפות פני השטח ולקבל נתוני מדידה יעילים.
מיקרוסקופיה קונפוקלית מבוססת על טכנולוגיית מיקרוסקופיה קונפוקלית, בשילוב עם מודול סריקת Z מדויק, אלגוריתם דוגמנות תלת מימד וכו', שיכול לבצע סריקה ללא מגע על פני המכשיר וליצור תמונה תלת מימדית של פני השטח כדי לממש מדידה תלת מימדית של טופוגרפית פני המכשיר. בתחום בדיקות ייצור החומר, ניתן למדוד ולנתח את מאפייני המורפולוגיה של פני השטח של מוצרים, רכיבים וחומרים שונים, לרבות פרופיל פני השטח, פגמי פני השטח, בלאי, קורוזיה, שטוחות, חספוס, גליות, מרווח נקבוביות, גובה המדרגה. , עיוות כיפוף ותנאי עיבוד.
יישום
1. MEMS
מדידת גודל של רכיבים ברמה של מיקרון ותת-מיקרון, תצפית על מורפולוגיה של פני השטח וניתוח פגמים לאחר תהליכים שונים (פיתוח, תחריט, מתכת, CVD, PVD, CMP וכו').
2. רכיבים מכניים מדויקים והתקנים אלקטרוניים
מדידת גודל של רכיבים ברמת מיקרון ותת-מיקרון, תהליכי טיפול משטחים שונים, התבוננות במורפולוגיה של פני השטח לאחר תהליכי ריתוך, ניתוח פגמים וניתוח חלקיקים.
3. מוליכים למחצה/LCD
תצפית מורפולוגיה של פני השטח, ניתוח פגמים, מדידה ללא מגע של רוחב קו, עומק צעד וכו' לאחר תהליכים שונים (פיתוח, תחריט, מתכת, CVD, PVD, CMP וכו').
4. הנדסת פני שטח כגון טריבולוגיה וקורוזיה
מדידת נפח של סימני בלאי, מדידת חספוס, מורפולוגיה של פני השטח, קורוזיה ומורפולוגיה של פני השטח לאחר הנדסת משטח תת-מיקרון.
