יישומים של מיקרוסקופים קונפוקאליים בתעשיית המוליכים למחצה
בתהליך של ייצור מוליכים למחצה בקנה מידה גדול, יש צורך להפקיד שבבי מעגלים משולבים על הפרוסה, לאחר מכן לחלק אותם ליחידות שונות, ולבסוף לארוז ולהלחים אותם. לכן, בקרה ומדידה מדויקת של גודל חריץ חיתוך פרוס היא חוליה מכרעת בתהליך הייצור.
מיקרוסקופ קונפוקאלי הוא מכשיר זיהוי מיקרוסקופי שהושק על ידי Zhongtu Instrument, בשימוש נרחב בתהליכי ייצור ואריזה של מוליכים למחצה. זה יכול לבצע סריקה ללא-מגע ולשחזר מורפולוגיה תלת-ממדית של תכונות פני השטח עם צורות מורכבות וחריצי חיתוך לייזר תלולים.
למיקרוסקופ קונפוקאלי יש רזולוציה אופטית מצוינת, ובאמצעות מערכת הדמיה ברורה, הוא יכול לראות את המאפיינים של משטח הפרוסות בפירוט, כגון האם יש פגמים כמו שבירה בקצוות ושריטות על משטח הפרוסות. המגדל החשמלי יכול לעבור אוטומטית בין הגדלות אובייקטיביות שונות, והתוכנה לוכדת אוטומטית קצוות תכונה למדידת גודל דו-מימדית-מהירה, ובכך מזהה ובקרה יותר את האיכות של משטח הפרוסות.
בתהליך חיתוך פרוסות בלייזר, נדרש מיקום מדויק על מנת להבטיח שניתן לחתוך חריצים לאורך קו המתאר הנכון על הפרוסה. איכות פילוח הפרוסים נמדדת בדרך כלל לפי העומק והרוחב של חריצי החיתוך. למיקרוסקופ הקונפוקאלי מסדרת VT6000, המבוסס על טכנולוגיה קונפוקלית ומצויד במודולי סריקה במהירות- גבוהה, יש תוכנת ניתוח מקצועית עם ריבוי שטחים ופונקציות מדידה אוטומטיות. הוא יכול לשחזר במהירות את קו המתאר התלת-ממדי של חריץ הלייזר של הפרוסה שנבדקה ולבצע ניתוח רב פרופילים כדי לקבל מידע על עומק ורוחב הערוץ של החתך-.
