היתרונות של מיקרוסקופ אלקטרוני סורק

היתרונות של מיקרוסקופ אלקטרוני סורק

1. מקדם הגדלה

בשל הגודל הקבוע של מסך הפלורסנט של מיקרוסקופ האלקטרונים הסורק, השינוי בהגדלה מושג על ידי שינוי משרעת הסריקה של קרן האלקטרונים על פני הדגימה.

אם הזרם של סליל הסריקה מצטמצם, משרעת הסריקה של קרן האלקטרונים על המדגם תקטן, ומקדם ההגברה יגדל. ההתאמה נוחה מאוד, וניתנת להתאמה רציפה מפי 20 לסביבות 200,000 פעמים.

2. רזולוציה

רזולוציה היא אינדיקטור הביצועים העיקרי של מיקרוסקופ אלקטרונים סורק.

הרזולוציה נקבעת על ידי קוטר אלומת האלקטרונים הנכנסת וסוג אות האפנון קביעה משותפת:

ככל שקוטר אלומת האלקטרונים קטן יותר, כך הרזולוציה גבוהה יותר.

האותות הפיזיים המשמשים להדמיה משתנים ברזולוציה.

לדוגמה, לאלקטרוני SE ו-BE יש טווחי פליטה ורזולוציות שונות על פני הדגימה. הרזולוציה של SE היא בדרך כלל סביב 5-10nm, בעוד זו של BE היא סביב 50-200nm.

3. עומק שדה

זה מתייחס לטווח היכולת של עדשה להתמקד בו זמנית ולצלם חלקים שונים של מדגם לא אחיד.

העדשה הסופית של מיקרוסקופ האלקטרונים הסורק משתמשת בצמצם זוויתי קטן ובאורך מוקד ארוך, כך שניתן לקבל עומק שדה גדול. הוא גדול פי 100-500 מעומק השדה של המיקרוסקופ האופטי הכללי ופי 10 מעומק השדה של מיקרוסקופ אלקטרוני ההולכה.

המאפיינים הבולטים של SEM הם עומק שדה גדול, חוש תלת מימדי חזק ומורפולוגיה מציאותית.

הדגימות המשמשות לסריקת מיקרוסקופ אלקטרונים מחולקות לשתי קטגוריות:

1 הוא דגימה עם מוליכות טובה, שבדרך כלל יכולה לשמור על צורתה המקורית וניתן לצפות בה תחת מיקרוסקופ אלקטרונים ללא או עם ניקוי קל;

2 היא דגימה לא מוליכה, או דגימה עם אובדן מים, שחרור גז או עיוות התכווצות בוואקום, שיש לטפל בה כראוי לפני שניתן לבצע תצפית.